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产品名称:

数字式四探针测试仪

产品型号: SZT-2000
产品时间: 2018-10-10
描述:SZT-2000型数字式四探针测试仪是根据四探针测

试原理研究成功的多用途的综合测量装置,它可以

测量棒状、块状半导体材料的电阻率和半导体扩散

层的薄层电阻进行测量,可以从10-6--105Ω—cm全

量程范围检测硅的片状、棒状材料的电阻、薄层电

阻,是硅材料质量监测的必需仪器。

产品介绍

 数字式四探针测试仪 


型号:SZT-2000
 
仪器资料:
 
SZT-2000型数字式四探针测试仪是根据四探针测
 
试原理研究成功的多用途的综合测量装置,它可以
 
测量棒状、块状半导体材料的电阻率和半导体扩散
 
层的薄层电阻进行测量,可以从10-6--105Ω—cm全
 
量程范围检测硅的片状、棒状材料的电阻、薄层电
 
阻,是硅材料质量监测的必需仪器。
 
仪器为台式结构,分为电气箱、测试架两大部分,
 
用户可以根据测试需要安放在一般工作台或者
 
工作台上,测试架由探头及压力传动机构、样品架
 
组成,耐磨和使用寿命长的特点。探头内设有弹簧
 
压力装置,压力从0—2Kg连续可调,测试架设有手
 
动和电动两种装置供用户选购。
 
仪器电气箱主要由高灵敏的直流数字电压表和高稳
 
定的恒流源组成,测量结果由数字直接显示,仪器
 
有自校量程,可以方便地对仪器的电气性能进行校
 
验。
 
仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、测量
 
范围广、结构紧凑、使用方便等特点,仪器适用于
 
半导体材料厂、器件厂、科学研究部门、高等院
 
校,对半导体材料的电阻性能测试及工艺检测。
 
仪器主要技术指标:
 
1.范围:电阻率10-4—103Ω—cm,可扩展至105
 
Ω—cm,分辩率为10-6Ω—cm
 
方块电阻10-3—103Ω/□
 
电阻10-6—105Ω
 
2.可测半导体尺寸:直径Φ15—150mm
 
3.测量方式:轴向、断面均可(手动测试架)
 
4.数字电压表(1)量程0.2mV、2mV、20mV、
 
200mV、2V
 
(2)测量误差0.2mV档±(0.3%读数+8字)
 
2mV档以上±(0.3%读数+2字)
 
(3)输入阻抗0.2mV、2mV挡105Ω
 
20mV档以上>108Ω
 
(4)显示31/2位数字显示,0—1999
 
具有极性和过载自动显示,小数点、单位自动显示
 
5.恒流源:(1)电流输出:直流电流0—100mA
 
连续可调,由交流电源供给
 
(2)量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA
 
五档
 
(3)电流误差:±(0.3%读数+2字)
 
6.四探针测试探头(1)探头间距:1mm(2)
 
探针机械游率:±0.3%
 
(3)探针:Φ0.5mm(4)压
 
力:可调
 
7.测试架:
 
(1)手动测试架:探头上升及下降由手动操
 
作,可以用作轴向和断面的单晶棒和硅片测试。
 
(2)电动测试架:探头的上升和下降由电动操
 
作,设有自动控制器控制,探头上升时间1S—99S
 
可调,探头下降时间1S—99S可调,压力恒定可调
 
(由砝码来设定)同时设有脚踏控制装置由脚踏开
 
关控制探头上下运动。
 
8.电流:220V±10%50HZ或60HZ:功率消耗
 
<35W
 
9.外形尺寸:电气箱130×110×400mm

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